Caracterización por DRX y espectrofotometría UV-VIS de películas de ZnO depositadas por pld

Abstract

Se obtuvieron películas de ZnO mediante la técnica de deposición por láser pulsado (PLD) con diferentes temperaturas y presiones del gas de trabajo. Se utilizaron como blanco pastillas sintetizadas a partir de polvo de ZnO, comercialmente disponible. Las películas se crecieron sobre sustratos de vidrio previamente tratados mediante limpieza química. Las muestras se caracterizaron mediante las técnicas de Difracción de Rayos X (XRD) y Espectrofotometría UV-Visible en función de la temperatura del sustrato y la presión del gas. El ZnO posee una estructura tipo hexagonal wurzite, con orientación preferencial en la dirección [002]. Las películas de mejor calidad cristalina se obtuvieron a una temperatura del sustrato de 300ºC y a presión de 26,7 Pa; a temperatura ambiente se obtienen películas que si bien presentan la fase hexagonal de ZnO, ésta es de baja cristalinidad; presiones bajas no generan fases de ZnO.